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【2h】

Lithographic technology for microwave integrated circuits

机译:微波集成电路的光刻技术

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摘要

Conductive lithographic films (CLFs) have been developed primarily as substitutes for resin/laminate boards, which share properties with the metallisation patterns used in planar microwave integrated circuits (MICs). The authors examine the microwave properties of the films and show that, although the losses are greater, they have potential as an alternative to the traditional manufacturing process of MICs.
机译:导电平版印刷膜(CLF)主要是作为树脂/层压板的替代品而开发的,该树脂/层压板与平面微波集成电路(MIC)中使用的金属化图案具有相同的特性。作者检查了薄膜的微波特性,结果表明,尽管损耗更大,但它们有潜力替代传统的MIC制造工艺。

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